神视M-DW1(LED光轴反射型)垫片绘图传感器

由于当从内部负载孔绘图时,激光光轴未达到FOUP直接射向操作员,激光绘图传感器更安全,涂氮垫片根据涂层厚度以一定波长吸收光线,如果传感器使用具有单个波长的激光,光轴可能被完全吸收,导致垫片检测错误,M-D21使用具有一定波长段的LED光源,可始终成功地检测涂氮垫片,根据反射光线的数量进行的垫片检测可能有时会由于垫片边缘的形状而发生错误,M-DW1在受光部分使用2个分隔的受光二极体,通过反射光线的位置而不是数量检测垫片,因此,传感器受垫片厚度或反射光线数量的影响较小,近来的趋势显示出玻璃垫片的快速发展,这些垫片不反射大量光线,因此它们的边缘检测有一定难度,M-DW1不是通过光线数量而是通过光线位置检测垫片,因此可忽略光线数量检测玻璃垫片,传感器在0.5ms以内反应,符合垫片检测的高速和高精度需要,传感器体积为W80.6mm×H18.3mm×D50mm,仅重75g,传感器电缆可从4个方向拉出:前.后.左.右,这使得传感器的安装更加方便灵活。
具体参数如下:
M-DW1:中心测量距离:45mm
检测物体:3英寸以上半导体垫片(注1)
检测表面:表在具有在受光方向反射光线的侧边缘(注2)
检测角度:12.5±5°
垫片间距:在通常灵敏度下可独立检测3mm以上间距
适用盒:SEMI标准FOUP盒/打开盒
电源电压:12-24V DC±10%
输出:NPN输出/PNP输出,可通过输出转换开关选择
NPN输出:NPN开路集电极晶体管
PNP输出:PNP开路集电极晶体管
输出操作:入光时ON/遮光时ON,可用开关选择
反应时间:50μs以下
周围温度:0~+50℃(注意不可结露),保存时:-10~+70℃
注:1)若是8英寸以下垫片,垫片间距定向扁平或表面情况都可能影响检测.
2)具有尖利边缘的上光垫片等,由于其在受光方向不能反射光线,因此
不能被检测.